Čisté prostory KN:E po generální rekonstrukci: FEL ČVUT nabízí špičkové prostředí třídy ISO 6
V areálu Karlova náměstí byla dokončena modernizace laboratorního komplexu pro fotolitografii, vakuové napařování a difuzní procesy. Laboratoř slouží pro výrobu senzorů i studentský výzkum.
Ing. Zdeněk PekárekČVUT FEL – Katedra mikroelektroniky
01. 10. 20264 min čtení
Laboratorní zázemí čistých prostorů Fakulty elektrotechnické na Karlově náměstí (budova E) prošlo komplexní modernizací HVAC vzduchotechniky a filtrace. Certifikace potvrdila splnění přísných parametrů třídy čistoty ISO 6 (méně než 1 000 000 částic větších než 0,1 µm na metr krychlový).
Nové vybavení zahrnuje: - Bezkontaktní mask aligner pro UV litografii s rozlišením 0,8 µm. - Reaktivní iontové leptání (RIE) pro přesné leptání polovodičových vrstev. - Profilometr a atomární silový mikroskop (AFM) pro diagnostiku nanostruktur.
Témata:CleanroomsISO 6Karlovo náměstíLitografieVýroba